부스번호 : C341
| 회사명 | AMEC | AMEC |
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| 국 가 | Rep. of Korea |
| 주 소 | (한국지사) 경기도 오산시 가장 산업동로 28-85 | #28-85, Gajang Industry East Road, Osan City, Gyeonggi-Do |
| 전 화 | 82-31-8077-2800 |
| 팩 스 | |
| URL | www.amec-inc.com/en |
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| 주요 전시품목 | 플라즈마 식각 장비 외 |
| 출품품목 | -. 플라즈마 식각 장비 (Plasma Etching Equipment) o CCP 식각 장비: 3D NAND 플래시 메모리, 첨단 로직 공정 및 유전체 식각용 o ICP 식각 장비: 실리콘, 금속 및 첨단 로직 미세 패턴 식각용 o TSV 식각 장비: 3D 적층 패키징, HBM 메모리 및 센서 제조 공정용 o 디스플레이 패널용 식각 장비: 플랫 패널 디스플레이(FPD), OLED 백플레인 및 미세 패널 제조 공정용 식각 장비 -. 박막 증착 장비 (Thin Film Deposition Equipment) o MOCVD: GaN 기반 차세대 디스플레이(Micro-LED, Mini-LED), DUV LED 및 전력 반도체에 필요한 에피텍셜 웨이퍼 생산용 o LPCVD: 반도체 미세 패턴 내 절연막 및 금속 전극막 증착용 o ALD: 초미세 공정 게이트 및 유전막용 원자 단위 초박막 증착용 o EPI: 트랜지스터 성능 향상을 위한 고품질 단결정 박막 성장용 o PVD: 반도체 금속 배선, 금속 전극 및 확산 방지막 형성용 -. CMP 장비 (Chemical Mechanical Planarization) o 웨이퍼 평탄화 장비: 미세화·다층화된 반도체 공정에서 절연막, 금속막, 배선층의 오차를 마이크로/나노 단위로 균일하게 평탄화하는 장비 -. 검사 및 미세가공 장비 (Inspection & Microfabrication Equipment) o 광학 및 전자빔(E-Beam) 검사/계측 장비 o 반도체/디스플레이 미세가공 장비: 마이크로 및 나노 수준의 초미세 소자 가공 및 검사용 -. Plasma Etching Equipment: o CCP Etchers: Designed for dielectric etch applications, 3D NAND Flash, and advanced logic nodes. o ICP Etchers: Used for silicon, conductor, and metal etch applications. o TSV / Deep Silicon Etchers: Applied in 3D integration, advanced packaging, and HBM (High Bandwidth Memory) manufacturing. o Display & Backplane Etchers: Used in flat panel display (FPD), OLED, and Micro/Mini-LED backplane fabrication. -. Thin-Film Deposition Equipment o MOCVD: Industry-leading equipment for GaN-based LED, Micro-LED, Mini-LED, power devices, and deep-UV LED epitaxial wafer production. o LPCVD: Used for depositing dielectric and metal gate films within fine semiconductor patterns. o ALD: Used for atomic-scale ultra-thin film deposition of gates and dielectric layers in advanced processes. o EPI: Used for growing high-quality single-crystal thin films to enhance transistor performance. o PVD: Used for metal interconnects, diffusion barriers, and contact layer metallization in semiconductor and display processing. -. CMP Equipment (Chemical Mechanical Planarization) o CMP Equipment: Designed for planarizing dielectric, metal, and barrier layers on wafers to achieve global surface flatness required for sub-micron and advanced multi-layer interconnect technologies. -. Inspection & Microfabrication Equipment: o Optical and electron beam detection/inspection equipment o Semiconductor microfabrication equipment capable of processing and detecting various devices at micrometer and nanometer levels |
| 회사소개 | -. 기업명 및 상장 정보: AMEC (상하이증권거래소 STAR Market 주식 코드: 688012) -. 개요: AMEC은 전 세계 반도체 및 LED 제조사가 혁신, 생산 및 수익성 목표를 달성할 수 있도록 공정 기술을 지원하며, 하드웨어 및 전문성을 갖추고 있는 장비 공급업체입니다. -. 기술력 및 기술 적용 범위: o 반도체 식각(Etching): 65nm부터 5nm 및 그 이하의 첨단 미세공정까지 적용되는 플라즈마 식각 장비를 공급하며 글로벌 주요 반도체 제조사의 양산 라인에 채택되어 있습니다. o 박막 증착 및 평탄화 (Thin Film & Planarization): MOCVD, LPCVD, ALD, EPI 기술뿐만 아니라 PVD(물리기상증착) 및 CMP(화학기계적평탄화) 장비 영역으로 기술 라인업을 확장하고 있습니다. o 디스플레이 및 첨단 패키징: 대면적 디스플레이(FPD), OLED, Mini/Micro-LED 생산용 장비 및 TSV/첨단 패키징(PLP 등) 공정 솔루션을 제공합니다. -. 업계 평가: TechInsights(구 VLSI Research)의 글로벌 반도체 장비 고객 만족도 조사에서 종합 평가 3위를 4차례 기록했으며, 박막 장비 부문에서는 4차례 1위에 선정되었습니다. -. Company Name & Stock Code: AMEC (SSE STAR Market stock code: 688012) -. Overview: AMEC is an equipment provider equipped with the process technology, hardware, and expertise to help global semiconductor and LED manufacturers achieve their innovation, production, and profitability goals.. -. Technical Capability & Applications: o Semiconductor Fabrication: Its plasma etching equipment covers advanced nodes ranging from 65nm to 5nm and beyond, widely adopted in high-volume manufacturing lines of top-tier global customers. o Thin-Film Deposition & Surface Preparation: In addition to MOCVD, LPCVD, ALD, and EPI systems, AMEC has continually expanded its capabilities into PVD (Physical Vapor Deposition) and CMP (Chemical Mechanical Planarization) solutions. o Display & Compound Semiconductors: AMEC provides advanced MOCVD equipment for Micro-LED, Mini-LED, and power devices, as well as etching and deposition solutions for flat panel display (FPD) and OLED backplane manufacturing. -. Industry Recognition: AMEC has ranked third four times in overall score in TechInsights' (formerly VLSI Research) global semiconductor equipment Customer Satisfaction Survey, with its thin-film equipment rated first four times. |
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